质量流量控制器 MASS FLOW CONTROLLER
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英文名：MASS FLOW CONTROLLER
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产品编号： GL140639
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特点：
●在1秒以内（T98）达到流量设定值的高速响应流量计。
●搭载了高可靠性的热传感器和电磁阀。
●搭载了自动调零功能。 -
规格：
●主体尺寸：-01～06／127×32×126mm、-07～12／124×32×126mm
●流量精度：±1%F.S.（精度保证范围：15～35℃）
●响应速度：１秒以内（T98）
●流量控制范围：2～100%F.S.
●接头：SW／1/4世伟洛克相当、VCR／1/4VCR相当 -
产品分类：流量计/液面计
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※请将另售的电源一体型控制单元与连接电缆进行配合使用。※订购时请根据对应气体代码表选择气体・接头开关。
